EUV

  • 网络极紫外光(Extreme Ultra Violet);极紫外光刻;紫外线

EUVEUV

EUV

极紫外光(Extreme Ultra Violet)

...奈米以下技术节点下一世代微影技术的主要候选者,传统极紫外光(EUV)所搭配之光罩基板以低热膨胀系数材料(LTEM)为基材…

极紫外光刻

另:纳米压印技术与极紫外光刻(EUV),电子束直写(EBDW)和定向自组装(DSA)并称为下一代芯片光刻技术(NGL)的四大候选人…

紫外线

新技术如超紫外线EUV)以及无掩膜电子束光刻技术目前还不够成熟,无法满足深纳米工艺的需求。193nm嵌入光刻技术将 …

远紫外

  原本被看好的远紫外EUV)光刻技术在迟迟难获实质进展之时,193 Immersion Lithography (浸没式光刻)技术似乎又成了 …

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